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      液體顆粒計數(shù)器檢測電子級強(qiáng)酸強(qiáng)堿

      更新時間:2024-03-28   點擊次數(shù):1072次

      1、單酸堿:硫酸、氨水、雙氧水、磷酸、硝酸、鹽酸、冰醋酸、氫氧化鉀、氫氧化鈉等。

      2、作用:電子級強(qiáng)酸強(qiáng)堿多應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中對零部件的腐蝕和清洗,表面處理中。

      3、SEMI等級標(biāo)準(zhǔn):電子化學(xué)品的判定通常采用電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級表

                          電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級表

      SEMI等級

      IC線寬

      金屬雜質(zhì)

      控制粒徑

      顆粒(個/mL)

      C1

      1.2

      ≤1000(1ppm)

      ≤1.0

      ≤25

      C7

      0.8~1.2

      ≤10(10ppb)

      ≤0.5

      ≤25

      C8

      0.2~0.6

      ≤1.0(1ppb)

      ≤0.5

      ≤3

      C12

      0.09~0.2

      ≤0.1(0.1ppb)

      ≤0.2



      4、判定儀器和液樣:

      使用儀器:PMT-2 液體顆粒計數(shù)器,防腐型,檢測范圍0.1-1.0um,檢測粒徑0.1、0.2、0.5、1.0um。

      液樣:硫酸、氫氧化鈉

      5、檢測結(jié)論:

      看檢測結(jié)果里的積分值,看≥0.1的粒子數(shù)量,≥0.2的粒子數(shù)量,≥0.5的粒子數(shù)量。參照數(shù)量的個數(shù)來判定所測樣品達(dá)到那個級別的。

      應(yīng)用:化學(xué)品生產(chǎn)商一般在實驗室使用離線取樣檢測的方式。抽取產(chǎn)線上數(shù)個液樣,按照批次來進(jìn)行檢測。反應(yīng)所生產(chǎn)液樣的工藝是否達(dá)標(biāo)。

      6、注意事項:

      確保儀器的準(zhǔn)確性:在使用前應(yīng)對儀器進(jìn)行校準(zhǔn),以確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。
      避免交叉污染:清洗容器,避免容器壁上的顆粒進(jìn)入檢測液樣;在百級清潔環(huán)境里進(jìn)行檢測,避免空氣中的大顆粒進(jìn)入檢測液樣。


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